Abwasserverordnung / Anhang 54 Herstellung von Wafern und Solarzellen [Bis 27.01.2022: Herstellung von Halbleiterbauelementen]

[1] Geändert durch Elfte Verordnung zur Änderung der Abwasserverordnung vom 20.01.2022. Anzuwenden ab 28.01.2022.

A Anwendungsbereich

(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Herstellung von Wafern für Halbleiterbauelemente und von Solarzellen^[1] [Bis 27.01.2022: Halbleiterbauelementen und Solarzellen] einschließlich der zugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung stammt.

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus indirekten Kühlsystemen und aus der Betriebswasseraufbereitung einschließlich Retentaten aus der Reinstwasseraufbereitung durch Membranverfahren.

[1] Geändert durch Elfte Verordnung zur Änderung der Abwasserverordnung vom 20.01.2022. Anzuwenden ab 28.01.2022.

B Allgemeine Anforderungen

Die Schadstofffracht ist so gering zu halten, wie dies nach Prüfung der Verhältnisse im Einzelfall durch folgende Maßnahmen möglich ist:

1.	Einsatz Wasser sparender Spültechnik (z. B. getaktete Spülung, Tauchspritzspültechnik, Leitfähigkeitsweiche),

2.	Mehrfachnutzung geeigneter Spülwässer nach Aufbereitung mittels Verfahren wie Kreislaufführung über Ionenaustauscher, Membrantechnik,

3.	Mehrfachnutzung geeigneter Spülwässer durch Weiterverwendung auch in anderen Bereichen, z. B. als Kühl- oder Brauchwasser zur Dampferzeugung, in Rückkühlwerken, in Galvaniken, Leiterplattenfertigung,

4.	Kreislaufführung von Abluftwaschwasser,

5.	Weiterverwenden oder Abgabe von Prozessbädern (z. B. Säuren, organische Lösungsmittel) zur Verwertung.

C Anforderungen an das Abwasser für die Einleitungsstelle

An das Abwasser wird für die Einleitungsstelle in das Gewässer eine Anforderung für die Giftigkeit gegenüber Fischeiern von GEi = 2 gestellt.

D Anforderungen an das Abwasser vor Vermischung

An das Abwasser werden vor Vermischung mit anderem Abwasser folgende Anforderungen gestellt:

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe	Stichprobe
	mg/l	mg/l
Adsorbierbare organisch gebundene Halogene (AOX)	–	0,5
Arsen	0,2	–
Benzol und Derivate	0,05	–

E Anforderungen an das Abwasser für den Ort des Anfalls

(1) Das Abwasser aus Reinigungsprozessen darf am Ort des Anfalls nur diejenigen halogenierten Lösemittel enthalten, die nach der Zweiten Verordnung zur Durchführung des Bundes-Immissionsschutzgesetzes in der jeweils gültigen Fassung eingesetzt werden dürfen. Diese Anforderung gilt auch als eingehalten, wenn der Nachweis erbracht wird, dass nur zugelassene halogenierte Lösemittel eingesetzt werden. Im Übrigen ist für LHKW (Summe aus Trichlorethen, Tetrachlorethen, 1,1,1-Trichlorethan, Dichlormethan - gerechnet als Chlor) ein Wert von 0,1 mg/l in der Stichprobe einzuhalten.

(2) Unbeschadet der Anforderungen nach Absatz 1 sind im Abwasser aus galvanischen Prozessen folgende Werte einzuhalten:

	Stichprobe
	mg/l
Blei	0,5
Chrom, gesamt	0,5
Chrom VI	0,1
Kupfer	0,5
Nickel	0,5
Silber	0,1
Zinn	2
Sulfid, leicht freisetzbar	1
Cyanid, leicht freisetzbar	0,2
Chlor, freies	0,5

Für Chrom VI und Cyanid, leicht freisetzbar, dürfen die Werte nicht überschritten werden; § 6 Abs. 1 findet keine Anwendung. Ethylendiamintetraessigsäure (EDTA) und ihre Salze dürfen im Abwasser nicht enthalten sein.

(3) Für arsenhaltiges Abwasser [Bis 27.01.2022: aus der Herstellung von Galliumarsenid-Halbleiterbauelementen ] ^[1]ist ein Wert von 0,3 mg/l Arsen in der Stichprobe einzuhalten.

(4) Für cadmium- und selenhaltiges Abwasser ist ein Wert von 0,2 mg/l Cadmium und 1 mg/l Selen in der Stichprobe einzuhalten.

[1] Gestrichen durch Elfte Verordnung zur Änderung der Abwasserverordnung vom 20.01.2022. Anzuwenden bis 27.01.2022.