(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Herstellung von Wafern für Halbleiterbauelemente und von Solarzellen[1] [Bis 27.01.2022: Halbleiterbauelementen und Solarzellen] einschließlich der zugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung stammt.

 

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus indirekten Kühlsystemen und aus der Betriebswasseraufbereitung einschließlich Retentaten aus der Reinstwasseraufbereitung durch Membranverfahren.

[1] Geändert durch Elfte Verordnung zur Änderung der Abwasserverordnung vom 20.01.2022. Anzuwenden ab 28.01.2022.

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