Abwasserverordnung / A Anwendungsbereich

(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Chipherstellung stammt, einschließlich

1.	der dazugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung,

2.	der Maskenherstellung und der Teilereinigung, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist, und

3.	des betriebsinternen Recyclings von Wafern, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist.

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus

1.	indirekten Kühlsystemen,

2.	der Aufbereitung von Betriebswasser, einschließlich Reinstwasser, sowie

3.	der Herstellung von Silizium-Einkristallen und dem Vereinzeln der Einkristalle zu Wafern.